TF-3000全自動(dòng)檢測(cè)分選機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
TF-3000全自動(dòng)檢測(cè)分選機(jī)是根據(jù)光伏產(chǎn)業(yè)和國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及市場(chǎng)需求而開(kāi)發(fā)研制的新型自動(dòng)化設(shè)備?？赏ㄟ^(guò)高效準(zhǔn)確的非接觸式測(cè)試儀器對(duì)硅片及類(lèi)似產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)分析并進(jìn)行自動(dòng)分選。
該設(shè)備可根據(jù)用戶(hù)需要搭載多種檢測(cè)模組，如：厚度、電阻率、少子壽命等，用戶(hù)可以對(duì)硅片等產(chǎn)品的各種質(zhì)量參數(shù)進(jìn)行定義。
性能、技術(shù)參數(shù)
工藝特點(diǎn)
控制系統(tǒng)
碎片檢測(cè)系統(tǒng)
插片機(jī)平面布置圖
主要零部件配置
技術(shù)支持和服務(wù)要求
產(chǎn)能 | 300片/時(shí)（p/h） | |
硅片尺寸 | 125mm-210mm | |
硅片規(guī)格 | 多晶硅/單晶硅 | |
測(cè)試范圍 | 厚度 | 100-1500μm |
電阻率 | 0.3-15 Ohm cm | |
誤差率 | 厚度 | <1%（+5μm/-5μm） |
電阻率 | <5% | |
| 0.1-1000μs | |